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产品资料

300mm晶圆工艺卧式高产能系统

300mm晶圆工艺卧式高产能系统
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:300mm晶圆工艺卧式高产能系统
  • 产品型号:YYKJJY300
  • 产品展商:博天堂918在线平台科技
  • 产品文档:无相关文档
简单先容

提供出众的温度均匀性以及理想稳定的工艺 系统同时支撑干氧及湿氧工艺

产品描述

产品详情

技术参数

 设备平台由两个各含4层炉管的系统及一个自动化装置装载系统组成

加热系统包括5个双区加热单元

用途/应用领域

 支撑高达1200°C高温工艺,其氧化和Drive-in工艺可促进研发更具有低界面陷阱密度(Dit)和高沟道迁移率的氧化物层。



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