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产品资料

卧式晶圆工艺批次处理系统

卧式晶圆工艺批次处理系统
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:卧式晶圆工艺批次处理系统
  • 产品型号:YYKJJY1200
  • 产品展商:博天堂918在线平台科技
  • 产品文档:无相关文档
简单先容

本款产品适用于材料的退火、扩散、氧化、低压化学气相沉积、等离子增强化学气相沉积等。能够批量处理晶元材料大大节省了时间成本,是各种晶元材料批次处理的不二选择。

产品描述
技术参数
  1.  大气压加工、等离子增强化学气相沉积加工与低压化学气相沉积加工
  2. 能提供任选加工腔方案
  3. 先进的水冷却系统保证不同的工艺炉管之间无热干扰
  4. 模块化部件设计,便于在洁净室内安装与启动生产 
 
特征描述

 

  1. 快速冷却系统
  2. 用于自动舟输送的集成升降装置
  3. 集成舟缓冲与冷却系统
  4. 全自动晶圆输送系统(盒至盒运输)

 

使用说明

 所有的炉管均配备一个综合的晶舟处理系统,其可以存放多达8个工艺晶舟,同时也集成有一个晶圆传输系统。

水冷式加热器外壳和软着陆系统设计能*大限度排除外部环境影响。且易于维护,能确保低维护成本及高的正常运行时间。

 
包装清单

 说明书一份 ,合格证一份

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