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产品资料

晶元热加工炉

晶元热加工炉
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:晶元热加工炉
  • 产品型号:YYO1200
  • 产品展商:博天堂918在线平台科技
  • 产品文档:无相关文档
简单先容

半导体晶元热处理系统具有以下优点 1、性能高、占地面积小、拥有成本低 2、具有许多半导体器件制造工序所要求的高度的加工灵活性 3、可根据需要加设薄晶圆装卸装置

产品描述


产品适用范围

  1. 大气压加工
  2. 退火
  3. 氧化
  4. 扩散
  5. LPcvd(低压化学气相沉积)
  6. PECVD(等离子增强化学气相沉积)


技术参数


  1. 晶圆热加工炉独一无二的工艺腔体与加热系统能够在1100°C的高温下运转。
  2. 加热炉由于加工批量小,因此具有高度的灵活性,适合所有的标准大气压与低压加工。
  3. 这一结构的*大限度加工批量为50片晶圆,从而降低了客户的开发成本。


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